北极光干涉物镜‌是在传统显微镜物镜基础上‌集成分光结构‌(如分束器、参考镜等),使入射光分为‌测量光‌(照射样品)与‌参考光‌(经参考镜反射)两束相干光,通过两束光重新汇合产生的‌干涉条纹‌,实现样品表面或内部结构纳米级精度形貌测量的光学器件。它具有如下特点:

国产化,100%核心技术自主。

通适性强,与Nikon干涉物镜兼容互换,提供转接件兼容Zygo白光干涉仪。

性能卓越,衍射极限理想像质。

性价比高,依托国内研发和产业链,显著降低制造成本。